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第277章 Arf光刻

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第二天。

常乐在曾熙、梁青松陪同下,来到沪微电子。

之所以来沪微电子,主要原因是何融明告诉他,公司的光刻机研发,取得里程碑式的进展。

第四代步进式投影式光刻机,即波长193纳米Arf准分子激光光刻机(没有浸没系统的dUV),研发成功。

这意味着光刻最小工艺节点,将推进至65纳米。

常乐原本不相信,或者怀疑。

短短不到两年时间,能从第三代跨到第四代?

常乐揣测可能是好大喜功的老毛病又犯了——采用进口零部件组装。

何融明毕竟是官僚体系出身。

然,华红梁青松告诉他,不是虚言,而是真正地研发成功。

沪微电子成功研发Arf光刻机后,第一时间与华红半导体对接,得到了华红半导体的验证支持。

验证结果表明,成功!

华红半导体已经准备采购一批,面向国内客户爆产能。

价格嘛,6000万一台,约1000万欧元一台,比ASmL便宜了50%。

沪微电子门口,何融明率领公司高层静静等待。

当车队开过来,何融明等人立即鼓起掌来。

这不是形式,也不是程式。

代表的是沪微电子全体同仁发自内心的欢迎和敬佩。

三年多时间,不计成本上千亿专项研发资金砸入,带动了光刻机上下游供应链研发齐头并进。

这个行业,尤其是上游的供应链企业何曾打过这么宽裕的仗?

换谁,内心不激动、不感慨、不敬佩?

三年来,青灯黄卷、孜孜不倦终于不再是晨钟暮鼓、道傍之筑;

而是阶段性成就、历史性成果。

乐达投资的格局、力度、气魄令人心悦诚服。

常乐下车。

何融明立即走上前来,热情握手,态度足够恭敬:

“老板,您可终于来了。”

“哈哈,老何,听你在电话里说,我就不得不来,你给我了一个大惊喜啊。”常乐笑着说。

“老板言重了,能够突破主要还是依赖母公司的支持,供应商的齐心协力。”何融明说。

“谦虚了,管理和工程师们的努力,也是关键因素。”常乐说:

“走吧,带我们去看看你们的成果。”

“老板,曾总,梁总,诸位,这边请。”何融明带着众人走进研发楼,来到研发车间。

车间内摆放着一台硕大的箱体设备。

设备半敞开,内部密密麻麻的线路,连接着外行人完全看不懂的设备。

至少常乐、曾熙看不懂。

“老板,这就是我们研发的第四代步进式投影式光刻机……”何融明介绍道:

“它采用193纳米arf氟化氩准分子激光光源,可以将工艺制程推进到65纳米。”

“这一代光刻机已经基本满足大部分半导体电子产品的需求。”

“真正意义上的国产自主?”常乐确认一遍。

“对!这台设备的10万多个零部件,哪怕是一颗螺丝钉都是国内厂商提供……

“性能经过华红半导体验证,与ASmL相差无几。”何融明斩钉截铁地。

“能够这么快自主研发成功,还是要归功于母公司的资金保障。”

“因为资金保障充分,配套企业的研发积极性非常高,供应的产品性能和关键指标不断提升,目前已基本达到国际一流水准。”

“核心组建方面,双工作台由华卓精科提供,光源由科益虹源提供,曝光系统由国科提供,国望光学供应了物镜系统,上光所供应了光栅系统……”

“配套设施方面,南大光电供应光刻胶,华特气体供应光刻气体,华润微供应光掩膜版,东方晶源供应缺陷检测系统,芯源微供应涂胶显影……”

何融明介绍的这些鼎鼎大名的企业,因为乐达投资的介入,较前世,已经提前数年成立并扬帆起航。

各类顶级研发工程师纷纷加盟,积极对接和自发成为沪微电子的上下游配套企业,接受其研发安排和调度。

钱能聚人心。

听完何融明的介绍,常乐不明觉厉,高兴地说:

“老何,辛苦了。”

“阶段性目标的实现,比我想象中要来得早一些……”

“我原来计划可能要10年左右才能突破。”

“正常情况下,是这样。”何融明说:

“老板,不瞒您说,我们原本也认为要花费较长一段时间。”

“只是,一年多以前成功研发krf准分子光刻机后,我们发现研发进度、研发效率在不断提升,试错成本一降再降。”

“尤其是,华卓精科的双工件台,据他们说,几乎每一步都踏在正确的轨道上。”

梁青松接着这个话题继续说:

“老板,华红的研发也很顺利。”

“接手沪微电子的光刻机后,在验证过程中,65纳米Soc芯片一次流片成功率高达90%……”

“节省了大量的研发时间和成本,让研发人员积极性大为提高。”

听完介绍,常乐笑道:

“看来,老天爷都看不下去了,开始垂怜我们了,让我们尽量少走一些弯路。”

曾熙说:“这就是天道酬勤。”

在场的人都笑了起来。

何融明说:“是啊,天道酬勤。dUV光刻机研发成功,给足了我们信心。只要坚持不懈,就一定可以抹平代差。”

“我们与ASmL光刻机的差距客观存在,但至少不是30年、40年这种令人绝望的差距。”

“我们希望能在10年内,基本抹平代差,平起平坐。”

梁青松说:“其实,我们也有优势,那就是沿着ASmL的轨迹走。不用摸着石头过河,试错成本最大限度降到最低。”

常乐点头:“都说的很好。大家有这样的共识,就说明我们的认识一致、行动一致,我们走在一条正确的道路上。”

“伟人曾经说过,雄关漫道真如铁、而今迈步从头越。只要我们心往一处想,力往一处使,就一定能够取得成功。”

沪微电子食堂。

众人聚在一起吃便饭——自助餐。

长条桌上,常乐看到零零散散上百道菜依次排开,囊括东南西北各种口味。

常乐说:“老何,没有搞突击吧。”

何融明摇头:“老板,放心,绝对没有搞突击。”

“食堂我亲自抓,也曾带队去过母公司,还有乐达汽车的食堂,考察过。”

“这么说吧,沪微电子的食堂,应该比母公司只好不差。”

“因为我们高薪组建了厨师班,他们每天换着花样做。”

“您现在看到的,都是平常工程师们的日常水准,逢年过节,厨师班还会超水平发挥一下。”

常乐说:“这就好,研发工作非常耗费脑力和精力,在营养方面必须保障,经费绝对不能省。”

接着,何融明谈到下一步研发重点。

“下一步我们将着重攻坚浸入式步进式投影式光刻机,也就是arfi光刻。”

“目前,我们的供应商启尔电机传来了好消息……”

“他们的浸液系统,已经可以将高精度液体温差控制在0.001度,组件试验进展非常顺利,不久就将向我们供货。”

“一旦自主Arfi光刻机研发成功,那么我们与欧美光刻巨头的代差,将缩小到10年以内,仅一代差距。”

“这不是一个令人绝望的鸿沟。”

arfi光刻与arf光刻系出同源,都是深紫外线dUV光刻机。

区别就在于,前者多了一个浸液系统。

通过该系统,将镜头与硅片之间的空间浸入液体中,在液体光折射作用下,能够使激光的实际波长大幅度缩短。

即193纳米等效缩短到134纳米。

从而,实现7-45纳米工艺制程。

到了这个节点,至少10年内,是绝大多数半导体产品的主流。

听完介绍,常乐问:“大概多久能够研发成功……”

何融明说:“顺利的话,应该会在三年内投向市场,不顺利的话,时间很难估计。”

常乐当即举起酒杯:“好,让我们共同预祝研发顺利!”

“干杯!”

“干杯!”

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