穿越2018从造光刻机开始

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第118章 宅男的春节

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从来到这个世界那天起,这个世界发生的一切对路阳来说,更像是场游戏,只有为数不多的几个人能带来真实感。

于是路阳拒绝了所有人的邀请,一个人留在公寓过春节,几包泡面加蛋,自热锅加腊肠,烧烤配啤酒,好些年都是如此过的。

打开小破站,粉丝已经来到150万,视频更新还不到10条,既有小破站的流量照顾,也有路阳内容的垂直,产业链中EdA与Ip已经发完,开始做制造材料相关视频。

制造材料中技术难度最大,一直被岛国与泡菜国垄断的就是光刻胶、光掩膜与cmp,如今cmp已被苏硅攻克,华大九天建了新厂正在极力攻克光掩膜、光刻胶以及存底外延。

华国作为世界公认的世界第一化工大国,这并非是自封,而是NAtURE上的论文发表数量决定的,但为什么光刻胶还被岛国与韩国垄断呢?

EdA作为半导体行业的设计软件,全球市场规模仅有百亿级别,但却是入场券,正因为市场不大,研发与产出严重失衡,都秉承着造不如买的心态,直到技术封锁的迹象诞生,才真正开始重视起来。

光刻胶的情况与EdA类似,研产比例失调,突破一项别人倾销一项,企业几乎无法生存。

按应用领域分类,光刻胶可以分为三类,pcb印刷电路板光刻胶、Lcd显示面板光刻胶、半导体光刻胶,前两者主要用于微细图形加工,不过多赘述,这期的视频内容,路阳打算以光刻胶为主。

半导体光刻胶根据应用,再分为四类,对应不同制程。

g线对应436纳米,用于6寸晶圆雕刻;

i线对应365纳米,用于6\/8寸晶圆雕刻;

krf线对应248纳米,用于8寸晶圆雕刻;

Arf线对应193纳米,对应12寸晶圆雕刻;

EUV线对应13.5纳米,对应12寸晶圆雕刻;

从技术门槛来看,显然是从g线开始依次递增的,做到这里,路阳都想直接打电话给华大九天刘永锐,现在他们做到什么程度了,拿起电话才想起今天是大年三十便放下电话。

看着电脑查出的资料,“草,大意了啊!”

原来直到2019年,华国也仅仅完成了pcb印刷电路板的全面国产化,Lcd都还在验证期,至于半导体光刻胶,估计现在用的全是囤货,华国今年的半导体光刻胶依赖程度高达90%以上。

光刻胶又分为正性与负性光刻胶,主要起到蒙版的作用,先在晶圆上均匀的涂抹一层光刻胶,然后光源通过掩膜版图像打到光刻胶上,被光照到的部分随之融化,这种就是正性光刻胶,而未被融化的部分就跟掩膜版中的图像一样,用显影液把融化的光刻胶洗干净,接着上刻蚀机,把未被融化部分刻蚀掉,这就是光刻的基本原理。

如果光源照射后,不但没融化反而变得更加坚挺,这就是负性光刻胶,正性做高分辨率图像,负性做低分辨率图像,显然市场上大部分使用的都是正性光刻胶。

光刻胶最核心的技术就是配方,跟cmp的抛光液一样,是各厂家最值钱的东西。

光刻胶主要成分有感光剂、树脂、溶剂以及其他的辅助剂,其中最核心的便是感光剂,用于吸收不同波长的光,发生不同的化学反应。

感光剂继续分类则是pAc与pAG,pAc用于g线i线,又叫感光化合物,pAG用在Krf,Arf与EUV上,又叫光致产酸剂,简称光酸。

“pAG才是大头,电子消费品的芯片都必须使用到,草率了,半导体跟化工果然也是深度关联啊!”路阳心想,之前一直没人提过光刻胶方面的事,他也没在意,如果今年岛国跟泡菜国禁止出口,那就麻烦了。

用于Krf的pAG市场价格在1-1.5万\/公斤,Arf用的pAG价格在1.5-30万\/公斤,差距非常大。

从原理来说,光刻胶不复杂,但是不同光源需要匹配不同的树脂,不同的树脂又要匹配不同的光酸,于是光刻胶变成了一个复杂的溶剂体系。

光刻胶还是一项多学科交叉产物,就拿驻波效应来说,光源照射在光刻胶上,无论是正性还是负性,都会穿过光刻胶抵达晶圆,而晶圆会反射光线,射入光线与反射光线叠加起来就形成了驻波效应。

驻波效应会导致光强在光刻胶上分布不均匀,尤其是深紫外光,这种不均匀更加明显,从而导致光刻胶的局部要么过曝,要么欠曝,而要解决这些问题,必须把信息数据反馈回光刻胶厂家,厂家再次调整树脂的分子结构,重新调配配方,如此循环N次,得到最理想的配方比例。

那么,这种配方比例哪里有卖呢?

显然没有人会卖出来,“还好我提前发现,否则要出大问题啊!一斤几十万,垄断产业还不是想卖多少定多少。”路阳吐槽道。

光有配方还不行,这个行业最大的问题在于量产,光刻胶的市场规模还不到50亿米元,而这50亿则被岛国东京应化、住友化学、富士胶片、JSR,米国陶氏化学,泡菜国东进瓜分,华国占比在others,连数字都没有。

路阳还看到了一条台鸡电的消息,因为光刻胶的问题直接报废10万片晶圆,亏了几十个亿。

为什么华国没跟上来,路阳总结了几点原因。

第一,要搞光刻胶研发,你必须得有光刻机给你做实验,光刻机是各家企业的宝贝,不会让给你做研发,这步就直接卡掉大部分。

第二,市场规模小,研发费用巨大,研究与生产不成正比。

第三,就算研产失调,国家也可以拨经费,但是你拿不到晶圆厂的反馈,晶圆厂也不敢用实验出来的配方,一旦出问题,损失太大。

第四,光刻胶的研发严重依赖经验,别人的配方根本无法逆向分解,国外那些光刻胶企业都是几十年的经验积累,当初泡菜国在接受产业链转移时就被岛国在光刻胶上卡得欲生欲死。

写完文案,另外一台电脑上传来春晚的倒计时的声音,5,4,3,2,1……

春节快乐!

窗外烟花漫天,路阳起身拉开窗帘,抬头王者灿烂的烟火,喃喃自语。

“春节快乐!”

“只有突破技术才能使用我快乐,其他的,我不需要了……”

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